MA-4201ML-D自動曝光設備
Sheet type
Automatic exposure system
| 單片式 曝光系統 |
| 全自動近接式曝光系統，配備可存儲六個光罩的光罩庫與自動搬送系統。 |
| DNK獨特的高速畫像處理技術, 可實現光罩與基板的高精度對位。 |
| 配備DNK獨特的傾斜機構, 可以進行平行度補償。 |
| 適合高產能的需求。 |
| 高照度光源系統。 |